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LCR表在半導(dǎo)體分立器件 C-V 特性測試方案

發(fā)布日期:2022-12-29     作者: 安泰測試     瀏覽數(shù):   

  方案特點(diǎn)

  包含C-V(電容-電壓),C-T(電容-時(shí)間),C-F(電容-頻率)等多項(xiàng)測試測試功能,C-V測試最多同時(shí)支持測試四條不同頻率下的曲線。

  測試和計(jì)算過程由軟件自動(dòng)執(zhí)行,能夠顯示數(shù)據(jù)和曲線,節(jié)省時(shí)間。

  提供外置直流偏壓盒,最高偏壓支持到正負(fù)200V,頻率范圍100Hz-1MHz。

  支持使用吉時(shí)利24XX/26XX系列源表提供偏壓。

  測試功能

  電壓-電容掃描測試

  頻率-電容掃描測試

  電容-時(shí)間掃描測試

  MOS器件二氧化硅層厚度、襯底摻雜濃度等參數(shù)的計(jì)算

  原始數(shù)據(jù)圖形化顯示和保存

  MOS電容的C-V特性測試方案

  系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

  系統(tǒng)主要由源表、LCR表、探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在0.1Hz~30MHz。源表(SMU)負(fù)責(zé)提供可調(diào)直流電壓偏置,通過偏置夾具盒CT8001加載在待測件上。

  LCR表測試交流阻抗的方式是在HCUR端輸出交流電流,在LCUR端測試電流,同時(shí)在HPOT和LPOT端測量電壓值。電壓和電流通過鎖相環(huán)路同步測量,可以精確地得到兩者之間的幅度和相位信息,繼而可以推算出交流阻抗參數(shù)。

LCR表在半導(dǎo)體分立器件 C-V 特性測試方案(圖1)

  LCR表與待測件連接圖

LCR表在半導(dǎo)體分立器件 C-V 特性測試方案(圖2)

  CV特性曲線測試結(jié)果

       以上就是LCR表在半導(dǎo)體分立器件 C-V 特性測試方案的相關(guān)介紹,如果您有更多疑問或需求可以關(guān)注西安安泰測試Agitek哦!非常榮幸為您排憂解難。

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